하이닉스 청주공장서 또 화학물질 누출 …2명 병원 이송

10일 오후 3시39분께 충북 청주시 흥덕구 에스케이 하이닉스 청주공장에서 반도체 장비를 하역하던 장비 담당자와 화물차(트럭) 운전사 등이 화학 물질에 노출돼 병원으로 옮겨져 치료를 받았다. 이 화학물질은 반도체 디스플레이 제조 공정에 쓰이는 유독성 수산화테트라메틸암모늄(TMAH)으로 추정됐다.

에스케이 하이닉스 쪽은 “경기 이천 공장에 있던 반도체 장비를 청주 엠(M) 15공장에 설치하려고 트럭에 싣고 왔다. 이 장비를 내리려고 박스형 트럭(탑차) 문을 열었는데 액체가 흘러나와 있었고, 액체에 손을 댄 장비 담당자와 운전사 등 2명을 사내 병원으로 옮겨 세척한 뒤 주변 종합병원으로 옮겨 치료하고 있다. 지금 증상은 없지만 만일의 경우에 대비해 병원에서 상황을 살피고 있다”고 밝혔다.

에스케이 하이닉스 쪽은 “매뉴얼 대로 소방 쪽에 연락해 누출된 액체를 모두 수거·처리했다. 액체 종류는 알 수 없지만 반도체 제조 공정에서 쓰이는 유독성 수산화테트라메틸암모늄일 수 있어 관련 기관에서 조사하고 있다”고 설명했다. 수산화테트라메틸암모늄은 반도체 제조 공정의 감광액 제거와 웨이퍼 세정 등에 쓰이는 고성능 현상액이다. 강알칼리성 유독성 물질로 피부 접촉을 하면 전신 흡수가 매우 빨라 호흡 부전 등 치명적인 증상을 동반하는 것으로 알려졌다.

앞서 2021년 경기 파주에서 이 물질에 노출된 노동자 등 2명이 숨지고 3명이 다쳤으며, 지난해 6월 울산 울주의 화학물질 제조 공장에서도 이 물질이 몸에 닿은 한 노동자가 심정지 상태로 병원으로 옮겨져 숨지기도 했다.

앞서 하이닉스 청주공장은 지난 1일 오전 10시20여분께 엠(M)15공장과 엠(M)15엑스(X) 공장 사이 가스룸에서 원인 모를 불이 났다. 불은 스프링클러 등 자동 소화 설비가 작동하면서 10여분 만에 자체 진화됐다. 하지만 불이 나면서 가스룸에서 작업 중이던 직원 11명이 가스 배관 캐비넷에서 누출된 화학물질 불소 등에 노출돼 에스케이 하이닉스 청주 캠퍼스 안 내부 병원으로 옮겨져 치료를 받기도 했다.